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羅茨真空泵的抽氣速率測試



羅茨真空泵抽氣速率的測定采用定壓法,在泵的進口處直接連接試驗罩,泵的出口與前級油封機械泵連接,在進口與出口處均設(shè)有真空計測量壓力,流量計經(jīng)調(diào)節(jié)針閥與試驗罩相通。在啟動真空泵并達到穩(wěn)定工況后,方可進行測量。從接近極限真空的適當值開始測定抽氣速率,一直測至泵的允許進口壓力附近為止,每一個數(shù)量級中最少測四點,其分布應(yīng)基本符合1, 2, 5, 7的比例,例如1xl0-2、2x10-2,  5x10-2和7xl0-2四點,在測量過程中,每次調(diào)節(jié)針閥使其達到一定壓力后,至少經(jīng)過3min待真空計上壓力讀數(shù)平穩(wěn),才能記錄壓力數(shù)據(jù)。如果壓力有變化,則應(yīng)采用在測量過程中的壓力平均值。

試驗罩的結(jié)構(gòu)尺寸在部頒標準(JB1875-73)中有詳細規(guī)定,其結(jié)構(gòu)如圖7-2所示,試驗罩的內(nèi)徑D應(yīng)與泵的進口直徑相等。

在測量抽氣速率的裝置中,使用的真空計應(yīng)為座式壓縮真空計和油U型真空計,并經(jīng)精度10%以上的壓縮式真空計校準,真空計的取氣口平面應(yīng)與氣流方向平行。流量側(cè)量使用的流量計,在測量范圍內(nèi)必須具有二級精度。

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