工作在10-5Pa以上的超高真空機(jī)組有擴(kuò)散泵、分子泵超高真空機(jī)組和無油超高真空機(jī)組.該機(jī)組有如下特點(diǎn):
①主泵極限真空度高，在10-7~10-8pa以上;
②能經(jīng)受200~450℃的高溫烘烤;
③主泵返流氣體的分壓力很低;
④對被抽氣體選擇性強(qiáng)的主泵，要配備足夠大的輔助泵;
⑤要求真空室、管道、閥門等部件的材料出氣率很低，漏氣率很小。
(1)擴(kuò)散泵超高真空機(jī)組
以擴(kuò)散泵為主泵的超高真空機(jī)組的極限真空度為10-7~10-8Pa。
為減少來自擴(kuò)散泵前級的氣體反擴(kuò)散和阻擋機(jī)械泵油的反擴(kuò)散對極限真空度的影響，可在擴(kuò)散泵前級申聯(lián)一臺抽速小的擴(kuò)散泵，以降低壓縮比，減小反擴(kuò)散。如在擴(kuò)散泵進(jìn)氣口上邊增設(shè)鈦升華阱，可進(jìn)一步降低來自擴(kuò)散泵的氮?dú)夥謮毫�，能獲得10-11Pa的超高真空。
(2)分子泵超高真空機(jī)組
以分子泵為主泵的超高真空機(jī)組其極限真空度為10-8Pa，特點(diǎn)是啟動快，油的污染小。
在機(jī)組內(nèi)增加液氮冷阱，可以增大抽速。機(jī)械泵出口處設(shè)有水冷阱，可以防止油蒸氣進(jìn)入系統(tǒng)。
(3)無油超高真空機(jī)組
不用油做工作液和不用有機(jī)材料密封的真空機(jī)組稱為無油超高真空機(jī)組。常用的主泵有低溫泵、鈦泵、濺射離子泵等，可得到極限真空度10-7~10-8Pa。與有油真空機(jī)組比較，它有如下優(yōu)點(diǎn):
①可獲得清潔真空、無污染源;
②當(dāng)無油真空泵啟動后，即可隔離預(yù)抽泵;
③如突然抽氣停止，不會污染系統(tǒng);
④無油、無聲、無振動，改善了工作環(huán)境;
⑤極限真空度高，抽速大，抽氣時間短。
