在真空電子束焊機中，真空系統(tǒng)還常采用羅茨泵作為增壓泵進行差級抽氣。羅茨泵是一種雙轉子容積分子抽氣機，除了容積作用外，還應用了分子抽氣機的工作原理。
在高的壓力下，由于氣體的平均自由路徑比間隙小，排出的氣體會大量地返回，所以真空泵不能很好地工作，為使這種真空泵能夠正常工作，一般用旋片式機械泵作為前置真空泵。
當前置泵出口處的壓力降到100Pa左右時，羅茨泵開始工作，其最大抽氣速率出現(xiàn)在1.33Pa時，這時氣體的平均自由路徑顯著地超過了間隙的寬度，大大增加了返回氣體的流阻，而且它的進氣壓力與出口的前置真空壓力成直線關系。
羅茨泵在1.33×10-2~1.33Pa壓力范圍內有很高的抽速，可達40000L/S，能迅速排出突然放出的氣體。在這一壓力范圍內旋轉式機械泵的抽速已經(jīng)很小了，而油擴散泵則剛剛開始工作，因此這兩種泵在抽氣速率上的脫節(jié)，可在其問加一級羅茨真空泵來解決，因此又稱它為增壓泵。
