閥門在真空裝置中，是為了分隔系統(tǒng)的各部分用的。按其工作特性，可分為預(yù)真空閥和高真空閥，兩者主要區(qū)別在于其出入口直徑尺寸和真空密封結(jié)構(gòu)。前者的出入口直徑，一般在15-20毫米左右，多用真空橡皮墊圈密封，用于預(yù)真空部分，而后者的口徑為65、100、150、180毫米或更大些，密封多用金屬墊(特別是用于超高真空部分的閥門)，只有極限真空低于10-6托時，用橡皮密封才較多。它們在使用材料上，均廣泛應(yīng)用黃銅、鋼、不銹鋼等金屬，由于鑄造具有多孔性，故真空閥門都不用鑄件。
對于閥桿與蓋或與閥體的密封主要形式，不外乎橡皮的、金屬皺紋管的兩種，薄膜的(指在閥中用被青銅或鎳皮制成的，厚度為0.1-0.15毫米的皺紋薄膜密封，一般其往復(fù)行程為2-4毫米)用得較少。
在閥門孔處的密封(指關(guān)閉閥的密封)，一般是用真空橡皮。用錐形閥盤(由軟質(zhì)材料銀、鎳或黃銅制成)與圓往形閥座(用淬火鋼)的線狀緊密貼合密封，由于它的耐久性不好(如閥盤對閥座略為偏斜，密封表面加工有缺陷，以及過份壓緊閥盤而擠壓閥座，都會使閥門不再嚴(yán)密而需修理).只用于超高真空中。而油密封及液態(tài)金屬密封，除某些真空度要求高而導(dǎo)管尺寸不太大的系統(tǒng)外，應(yīng)用也不多。
在設(shè)計真空閥時，應(yīng)充分注意到它的工作特性，合理設(shè)計結(jié)構(gòu)和提出技術(shù)條件.滿足以下幾點主要要求:
l)閥的任何地方都不應(yīng)漏氣。
2)閥的連接部分和閥門處在關(guān)閉時的密封，應(yīng)保證真空嚴(yán)密性和可靠性。密封零件最好可以更換。
3)閥的出入口及閥腔，應(yīng)盡可能是直的，使氣流少轉(zhuǎn)彎，并在閥開啟時，有足夠大的空間供氣流通過，有良好的通導(dǎo)能力。
4)閥的開關(guān)操作應(yīng)輕快方便，極位(開、關(guān)、放氣……)操作順序和轉(zhuǎn)動方向應(yīng)加標(biāo)志并定位。
5)閥的全部金屬零件(特別是內(nèi)表面)應(yīng)都是抗腐蝕的，蒸汽壓低的，表面光潔的。
6)閥的結(jié)構(gòu)應(yīng)簡單和便于制造，注意焊縫應(yīng)減少到最低限度。少用或避免用特殊加工及自己工廠條件難以加工的結(jié)構(gòu)(如真空焊接)。
常見的真空閥的典型結(jié)構(gòu)原理。它們的操縱動力，包括手動、氣動和電動等。
真空閥的結(jié)構(gòu)形式，豐要分為單閥(包括二通和三通。直通和F形，T形)和組合閥(多通)兩種。其中特別是高真空閥和組合閥，在閥體上往往還要連接真空測盆接頭或其他接頭(如引電入真空的電接線柱)。
隨著我國電子工業(yè)的發(fā)展，真空裝置為滿足新的生產(chǎn)工藝，復(fù)雜的真空系統(tǒng)使用著許多閥門來控制，為了使系統(tǒng)導(dǎo)管長度縮短，提高通導(dǎo)能力，簡化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，并便于操作和制造，目前已逐漸向組合閥邁進(jìn)，用一個閥來代替若干個閥的工作，并集中控制。用于真空機(jī)組上的組合閥(又叫多擋閥)結(jié)構(gòu)，在這個閥上，集中了頂真空、高真空、充、放氣等閥，并根據(jù)操作需要，可方便地用三個手柄，控制預(yù)真空泵、高真空泵、儲氣桶(氣雄)、充氣瓶(或管道)與容器(指真空室)的通路的接通或斷開，使它們各自單獨與容器接通，或串聯(lián)工作，或完全隔離，從而有利于不同的工藝操作。工作容器可以安裝在閥體上部，也可以安裝在側(cè)面。 |
